|
جزئیات محصول:
|
| ولتاژ: | 220 ولت / 380 ولت | سرعت نوار نقاله: | 80 متر در دقیقه 25 |
|---|---|---|---|
| قدرت موتور اصلی: | 1.5 کیلو وات | عرض تسطیح موثر: | 920 میلی متر |
| مواد پوشش: | مواد مختلف | Uvlamptype: | لامپ جیوه |
| خطای تاشو به عقب: | ± 0.1 میلی متر | نوع خشک کردن: | خشک کردن IR |
| برجسته کردن: | سیستم پردازش لیزر اکسیمر صنعتی,خط تولید لیزر اکسیمر انعطاف پذیر,پارامترهای ماشین پوشش UV قابل تنظیم |
||
این سیستم پردازش لیزری اگزایمر صنعتی برای میکروساخت با دقت بالا، بازپخت نیمه هادی و الگوبرداری لایه نازک طراحی شده است. از ادغام کامل در خطوط تولید خودکار با نظارت زمان واقعی پشتیبانی می کند. این سیستم دارای یک منبع اکسایمر مهر و موم شده با گاز با نوری طولانی مدت و کنترل فرآیند به کمک هوش مصنوعی است.
| پارامتر | محدوده ارزش (استاندارد) | گزینه سفارشی سازی |
|---|---|---|
| طول موج | 193 نانومتر / 248 نانومتر / 308 نانومتر | قابلیت تعویض چند طول موج (سفارشی) |
| حداکثر انرژی پالس | 0.5 - 1200 میلی ژول | حداکثر 2000 میلی ژول (سفارشی) |
| فرکانس پالس | 1 - 6000 هرتز | حداکثر 10 کیلوهرتز (سفارشی) |
| توان متوسط | 5 - 300 وات | مقیاس بندی سفارشی در دسترس است |
| اندازه پرتو (خروجی) | 10 × 10 میلی متر | تیر مستطیلی تا 50×50 میلی متر (سفارشی) |
| همگنی پرتو | < ± 3٪ (σ) | <±1٪ (اپتیک سفارشی) |
| ادغام خط تولید | SMEMA / SECS / GEM | پروتکل PLC سفارشی (سفارشی) |
ما ارائه می دهیمسفارشی سازی کاملانتخاب طول موج، انرژی پالس، اندازه میدان اسکن، مخلوط گاز، روش خنک کننده (هوا/آب/چیلر)، و پروتکل ارتباطی خط تولید. بازوهای تحویل تیر سفارشی و محفظه های کلاس 1 نیز در صورت درخواست در دسترس هستند.
تماس با شخص: Mr. Zhang guoxin
تلفن: +86 13926890692
فکس: 86-769-88120350