سیستم پردازش لیزری اگزایمر صنعتی | یکپارچه سازی خط تولید انعطاف پذیر و پارامترهای کاملاً قابل تنظیم
سیستم پردازش لیزر اکسیمر صنعتی
,خط تولید لیزر اکسیمر انعطاف پذیر
,پارامترهای ماشین پوشش UV قابل تنظیم
این سیستم پردازش لیزری اگزایمر صنعتی برای میکروساخت با دقت بالا، بازپخت نیمه هادی و الگوبرداری لایه نازک طراحی شده است. از ادغام کامل در خطوط تولید خودکار با نظارت زمان واقعی پشتیبانی می کند. این سیستم دارای یک منبع اکسایمر مهر و موم شده با گاز با نوری طولانی مدت و کنترل فرآیند به کمک هوش مصنوعی است.
- واحد منبع لیزر اگزایمر
- ماژول شکل دهی و همگن سازی پرتو
- مرحله اسکن XY با سرعت بالا یا واحد طرح ریزی ماسک
- ربات جابجایی بستر درون خطی (عرض مسیر قابل تنظیم)
- سیستم مدیریت اگزوز و گاز
- کامپیوتر کنترل فرآیند با مدیر دستور پخت
| پارامتر | محدوده ارزش (استاندارد) | گزینه سفارشی سازی |
|---|---|---|
| طول موج | 193 نانومتر / 248 نانومتر / 308 نانومتر | قابلیت تعویض چند طول موج (سفارشی) |
| حداکثر انرژی پالس | 0.5 - 1200 میلی ژول | حداکثر 2000 میلی ژول (سفارشی) |
| فرکانس پالس | 1 - 6000 هرتز | حداکثر 10 کیلوهرتز (سفارشی) |
| توان متوسط | 5 - 300 وات | مقیاس بندی سفارشی در دسترس است |
| اندازه پرتو (خروجی) | 10 × 10 میلی متر | تیر مستطیلی تا 50×50 میلی متر (سفارشی) |
| همگنی پرتو | < ± 3٪ (σ) | <±1٪ (اپتیک سفارشی) |
| ادغام خط تولید | SMEMA / SECS / GEM | پروتکل PLC سفارشی (سفارشی) |
- آنیل سیلیکونی برای نمایشگرهای پیشرفته (LTPS)
- MEMS و برش ویفر نیمه هادی
- فعال سازی سطح پلیمری
- ریز ساختار دستگاه پزشکی
- حفاری انعطاف پذیر PCB
ما ارائه می دهیمسفارشی سازی کاملانتخاب طول موج، انرژی پالس، اندازه میدان اسکن، مخلوط گاز، روش خنک کننده (هوا/آب/چیلر)، و پروتکل ارتباطی خط تولید. بازوهای تحویل تیر سفارشی و محفظه های کلاس 1 نیز در صورت درخواست در دسترس هستند.
- > 2000 ساعت طول عمر گاز (مخلوط گاز بهینه)
- تثبیت انرژی داخلی (بازخورد در زمان واقعی)
- تشخیص از راه دور و تعمیر و نگهداری پیش بینی
- هزینه مالکیت پایین (LOO) با حالت صرفه جویی در گاز دور زدن
- طراحی ماژولار فشرده برای پیکربندی مجدد سریع خط
- پشتیبانی فنی 24 ساعته (تلفن/ریموت)
- نصب و راه اندازی در محل و یکپارچه سازی خط تولید
- آموزش سفارشی برای مهندسین شما
- گارانتی تمدید شده تا 5 سال
- پر کردن مجدد گاز و برنامه نوسازی اپتیک
- در محفظهای با رطوبت کنترلشده و نمدار شوک بسته شده است
- جعبه اپتیک مهر و موم شده با خلاء
- حمل و نقل از طریق هوایی یا دریایی با ردیابی در زمان واقعی
- جعبه های صادراتی مطابق با استاندارد ISPM-15 هستند