سیستم پوشش صنعتی دو سر اسپین برای تولید با بهره وری بالا طراحی چک سفارشی و توزیع خودکار
سیستم پوشش صنعتی دو سر
,پوشش چرخش چک قابل تنظیم
,ماشین ماشین سازی خودکار پالس
اينپوشک چرخش دو ایستگاه قابل تنظیمطراحی شده برای سپرده گذاری فیلم نازک با بهره وری بالا بر روی زیربناهایی مانند بلوک های سیلیکون، شیشه و فیلم های پلیمر.تحقیق,اتاق تمیزوتولید صنعتیتنظیمات سیستمکاملا قابل سفارشی سازیدر اندازه چک، محدوده سرعت چرخش، تعداد مراحل برنامه و روش توزیع.دو ایستگاه مستقل امکان کار همزمان یا متناوب را فراهم می کنند - یک ایستگاه می تواند در حالی که دیگری بارگذاری / تخلیه می شود، پوشش دهد، به طور چشمگیری بهره وری را افزایش می دهد. ایده آل برای پوشش های photoresist، سپرده گذاری sol-gel و برنامه های کاربردی لایه مانع در صنعت نیمه هادی، MEMS، نوری و الکترونیک چاپ شده است.
| پارامتر | مدل تحقیقات با سرعت بالا | مدل یکپارچه اتاق تمیز | مدل تولید صنعتی |
|---|---|---|---|
| تعداد ایستگاه ها | 2 مستقل | 2 مستقل | 2 مستقل (یا قابل تنظیم تا 4) |
| محدوده سرعت چرخش | 300 - 10000 دور در دقیقه | 500 تا 8000 دور در دقیقه | 100 - 3000 rpm (ممکن است تا 15،000 سفارشی شود) |
| دقت سرعت | ±1 دور در دقیقه | ±3٪ | ±1 rpm (سروا) |
| کنترل شتاب | چند مرحله ای قابل برنامه ریزی | PID تنظیم شده | چند مرحله ای قابل برنامه ریزی |
| اندازه ی بستر (قابل تنظیم) | تا 200 میلی متر (8 اینچ) در هر ایستگاه | تا 300 میلی متر (12 اینچ) در هر ایستگاه | تا 450 میلی متر (18 اینچ) - قابل تنظیم |
| مراحل قابل برنامه ریزی | 10 قدم در هر ایستگاه | 5 مرحله در هر ایستگاه | بر اساس دستور (غیر محدود) |
| سیستم خلاء | پمپ مستقل در هر ایستگاه | دریچه های مشترک + سولنویدی | پمپ بزرگ جریان مستقل |
| سطح تمیز (اختیاری) | N/A | کلاس 100 (Fed Std. 209E) | کلاس 1000 یا قابل تنظیم |
| مواد محفظه | فولاد ضد زنگ / PTFE | فولاد ضد زنگ + ضد خوردگی | پوشش مقاوم به مواد شیمیایی |
| سیستم توزیع | سرنگ دستي / نوزل دستي | پمپ اندازه گیری نیمه اتوماتیک | دوز دهی خودکار با سرو |
| رابط | صفحه لمسی 7 اینچی در هر ایستگاه | دو صفحه لمسی | PLC + HMI با ثبت داده |
| منبع برق | AC 110/220V، 50/60Hz | AC 220V، 50/60Hz | AC 380V، 50/60Hz (تخصیص پذیر) |
| ابعاد | ~700×400×300 میلی متر | ۶۵۰×۷۵۰×۱۶۲۰ میلی متر | قابل تنظیم |
| وزن | ~28 کیلوگرم | ~120 کیلوگرم | قابل تنظیم |
- نیمه هادی: پوشش ضد نور بر روی وافرهای سیلیکونی، دستگاه های MEMS
- اپتو الکترونیک: رسوب فیلم نازک برای ال ای دی ها، سلول های خورشیدی، صفحه نمایش تخت
- علوم مواد: پوشش های سول ژل، پلیمر و نانوکامپوزیت
- پزشکی زیستی: ساخت حسگرهای زیستی و دستگاه های مایکروفلویدی
- دستگاه های الکترونیکی چاپی: رسوب جوهر رسانا بر روی زیربناهای انعطاف پذیر
- بسته بندی: پوشش مانع بر روی ظروف مواد غذایی و محصولات کاغذی
این پوشش دو ایستگاهی اسپین استبسیار قابل سفارشی سازیبرای پاسخگویی به الزامات خاص درخواست شما:
- طراحی و اندازه چک: ماشین آلات خلاء برای سبسترها از 10 mm تا 450 mm
- محدوده سرعت چرخش: قابل گسترش تا 15000 دور در دقیقه برای کاربردهای فیلم فوق نازک
- تعداد ایستگاه ها: قابل گسترش به 3 یا 4 ایستگاه برای پردازش چند دسته
- سیستم توزیع: دستی، نیمه اتوماتیک یا کاملا خودکار با پمپهای سرو کنترل شده
- کنترل محیط زیست: اتاق تمیز (طبقه 10-100،000) ، پاکسازی گاز بی اثر، کنترل رطوبت
- ادغام حرارتی: صفحه گرم داخلی (تا 300 درجه سانتیگراد) یا ماژول UV
- اتوماسیون: بارگذاری و تخلیه رباتیک، ادغام کانویر، پردازش دسته
- مواد محفظه: PTFE مقاوم به حلال، فولاد ضد زنگ یا طراحی ضد انفجار
- پردازش موازی: دو ایستگاه به طور مستقل کار می کنند - پوشش و بار همزمان، دو برابر از واحد های یک ایستگاه
- کنترل مستقل دستور العمل: هر ایستگاه مواد مختلف یا پارامترهای چرخش را همزمان اجرا می کند
- دقت بالا: موتور DC بدون برس یا سرو با ثبات ± 1 rpm برای یکسانی استثنایی
- اتاق مقاوم به مواد شیمیایی: ساخت فولاد ضد زنگ با پوشش مقاوم در برابر حلال برای سازگاری با اتاق های تمیز
- قفل های امنیتی: قفل پوشش و توقف اضطراری در هر ایستگاه
- ردیابی داده ها: ذخیره سازی دستور العمل، نظارت در زمان واقعی، صادرات USB/Ethernet (اختیاری)
- نگهداری کم: طراحی بدون ارتعاش با لاغرهای مهر و موم
- مشاوره رایگان در مورد فرآیند و آزمایش مواد (سربست های خود را به ما بفرستید)
- نصب در محل، کالیبراسیون و آموزش اپراتور
- گارانتی 12 ماهه برای تمام قطعات، پشتیبانی فنی عمرانه
- در دسترس بودن قطعات یدکی (شاک ها، پمپ ها، موتورها) در عرض 48 ساعت
- رفع مشکل از راه دور از طریق تماس ویدئویی یا نظارت IoT (تخصیص پذیر)
- بسته بندی: فوم ضد ایستاتیک + جعبه پلائیوودی تقویت شده (با خشک کننده برای اجزای حساس به رطوبت)
- حمل و نقل دریایی: FOB شانگهای / CIF از طریق دریا، هوا، یا راه آهن. زمان سرب: 15-30 روز پس از تایید سفارشی سازی (بسیار طولانی تر برای چک های سفارشی یا ادغام اتوماسیون)
ج: یک دستگاه دو ایستگاه یک سیستم کنترل و اثر را به اشتراک می گذارد در حالی که به یک اپراتور اجازه می دهد تا یک ایستگاه را بارگیری / تخلیه کند در حالی که دیگری پوشش می دهد - زمان بیکار را از بین می برد.این منجر به کاهش کل سرمایه گذاری می شود، فضای آزمایشگاهی کوچکتر، و خروجی بالاتر.
A: بله. هر ایستگاه دارای کنترل های برنامه ریزی شده مستقل است، به شما اجازه می دهد که مواد مختلف یا اندازه های بستر را در همان زمان بدون آلودگی متقابل پوشش دهید.
ج: چاک هاقابل تنظیمبر اساس ابعاد بستر و مواد شما ما چک های استاندارد را برای وافرهای گرد (2"-12") وچک های ماشین سازی شدهبرای زیربناهای مربع، مستطیل یا نامنظم.